某信息2025年3月25日消息， 知识 信息显示，苏州励索精密装备科技有限公司申请一项名为“一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法”的专利，公开号CN 119668046 A，申请日期为2024年12月气泡机。
专利摘要显示，本发明公开一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法，涉及浸没头检测技术领域；包括外箱，外箱内部一端设置有检测维护机构，在外箱内部滑动设置有检测执行机构，检测执行机构包括作业台，在作业台的两个端面上，其中一个端面设置有超声清洁机构，另一个端面上配合设置有样品盘，在作业台内部设置有流场检测相机，且在样品盘上布置有拍摄孔，流场检测相机的镜头配合设置在样品盘上拍摄孔中；检测件用于对样品盘进行维护检测；本发明可便于对介质流场中的气泡进行检测，检测过程不需要人力过多参与，模拟晶圆光刻时的作业形式，实现高效检测，功能丰富，可便于实现维护气泡机。
天眼查资料显示，苏州励索精密装备科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业气泡机。企业注册资本1000万人民币，实缴资本650万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州励索精密装备科技有限公司专利信息13条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：某信息