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苏州励索申请用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法专利，可便于对介质流场中的气泡进行检测:气泡机

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某信息2025年3月25日消息，知识信息显示，苏州励索精密装备科技有限公司申请一项名为“一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法”的专利，公开号CN119668046A，申请日期为20

2025-05-27

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