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苏州励索申请用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法专利，可便于对介质流场中的气泡进行检测:气泡机
金融界2025年3月25日消息，国家知识产权局信息显示，苏州励索精密装备科技有限公司申请一项名为“一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法”的专利，公开号CN119668046A，申请日期为20
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金融界2025年3月25日消息，国家知识产权局信息显示，苏州励索精密装备科技有限公司申请一项名为“一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法”的专利，公开号CN119668046A，申请日期为20